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准LIGA技术在微传感器制造中的应用

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摘要

准LIGA技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的优点,利用此技术,用普通光学曝光机可将光刻图形转移到较厚的光刻胶上,获得较大的深宽比,从而解决了LIGA 技术的光源问题.简要介绍了准LIGA技术的工艺过程特点和应用实例.

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来源
《传感器与微系统》 |2000年第3期|41-43|共3页
作者
魏兵;
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作者单位

湖北工学院,机械系,湖北,武汉,430068;

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正文语种 chi
中图分类结构;
关键词
准LIGA技术; 光刻; 三层光刻胶工艺; 微电铸; 微复制;

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