基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真

摘要

针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试，对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真．运用模糊控制算法与模糊PID控制算法，对实验进行了建模及MATLAB仿真，并比较了两种算法的控制效果．结果显示，调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小，控制效果明显优于模糊控制算法．本仿真结果为实现传感器所需真空测试环境1kPa～100kPa的实时气压控制提供了依据．