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赵全斌; 焦继伟; 杨恒; 林梓鑫; 李铁; 张颖; 王跃林;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050;
中国科学院研究生院,北京100039;
双端固支硅纳米梁; 压阻检测; Ar离子轰击; 谐振特性;
机译:基于双端调谐叉和静电激发/压阻检测的谐振压力微阻
机译:基于压阻信号降混方案的硅基微悬臂梁谐振频率的并行检测
机译:压阻双夹紧(111)-Si纳米梁谐振响应的实验研究
机译:压阻硅纳米级悬臂的特性及其在BioNEMS中的应用。
机译:用于表面应力研究的优化的硅压阻微悬臂梁传感器
机译:基于双端调整叉的谐振压力微传感器依赖于静电激发和压阻检测
机译:多层多晶硅谐振器中的压阻式转换。
机译:谐振压阻检测器具有谐振器,该谐振器与检测器的支撑部件弹性连接,并且制造所述检测器的过程
机译:谐振压阻检测器具有谐振器,该谐振器与检测器的SS支撑部件弹性连接,并且制造上述检测器的过程
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