基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究

张文栋; 王建; 薛晨阳; 熊继军; 张斌珍; 仝召民

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基于共振隧穿二极管的GaAs悬臂式声传感器研究

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实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTE)的振荡器的压力-频率转换特性,实验结果表明:该特性具有良好的线性特征,且其线性灵敏度达到0.84 kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性,首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构,实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成.

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来源
《传感技术学报》|2006年第5期|2293-2296|共4页
作者
张文栋; 王建; 薛晨阳; 熊继军; 张斌珍; 仝召民;
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作者单位

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
RTD振荡器; 压力-频率特性; GaAs; 悬臂式声传感器;

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