退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
杨梅; 舒琼; 陈兢;
北京大学微电子学研究院,北京,100871;
中国科学院传感技术联合国家重点实验室,上海,200050;
TiN; 溅射; 应力; 退火;
机译:MEMS应用在Si衬底上TiN薄膜的异质外延生长
机译:通过悬臂的制造工艺研究SiC薄膜在MEMS技术中的应用
机译:MEMS的TIN薄膜的微观/微观摩擦学和力学研究
机译:脉冲激光沉积Al_2O_3和AIN-TIN薄膜的力学性能及工艺研究
机译:SU8在MEMS和BMEMS应用中的微观到宏观应用。
机译:Box-Behnken设计在通过快速扩展超临界溶液工艺研究工艺参数对乙酰胺微粒生产的影响中的应用
机译:使用微机电系统(MEMS)加工方法在燃料电池应用中开发微型泵=通过微机电(MEMS)系统唤醒微型电池以用于火电池
机译:基于mEms的功率mEms应用硅基灰度技术的开发与优化
机译:安全阀特别适用于储水式热水器,也可用于其他应用中的塑料材料及其工艺研究
机译:用于形成TiN薄膜的设备和使用该设备的MOCVD-TiN薄膜的形成方法
机译:光敏化环氧树脂1002F在MEMS和生物MEMS应用中的使用
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。