一种新型谐振式MOEMS陀螺的设计及分析

摘要

提出一种新型的利用空间光路敏感Sagnac效应的谐振式MOEMS陀螺,设计了利用微镜构成的光学谐振腔.此结构具有小型化优势,可利用MOEMS工艺进行加工.理论分析了光源及谐振腔参数对陀螺基本探测极限的影响,指导参数设计,得到陀螺的极限灵敏度为1.54°/h.通过模式匹配理论对谐振腔型式进行了改进,减小了谐振腔损耗.进行了谐振腔原理验证实验,观察到谐振曲线.最后对微谐振腔的加工工艺进行了讨论.