微镜

摘要： 微镜阵列芯片是大尺寸画面投影显示系统的主流光学图形产生器。针对德州仪器公司的数字微镜芯片中微镜吸合电压较高的问题,本文采用CMOS后端金属互连层制备隐藏垂直梳齿电极驱动的低吸合电压微镜,在CMOS后端工艺中基本完成MEMS微镜阵列的结构制备,然后在CMOS工艺后附加少量的Post-CMOS工艺。我们采用0.35-μm 2-Poly-4-Metal(2P4M)CMOS工艺设计和制造了2种1×8规模集成了隐藏式梳齿驱动器的静电驱动双稳态微镜阵列,并且片上集成了CMOS驱动电路。微镜尺寸为18μm×18μm,像素间距为20μm,占空比为81.0%。采用有限元仿真软件计算了微镜结构的电力耦合特性。在大气环境下,仿真结果表明:具有TiN/Al/TiN扭臂的微镜A的静态吸合电压为19.25 V,具有TiN/Al/TiN扭臂的微镜B的静态吸合电压为3 V。测试结果表明:微镜A典型的吸合电压为21 V,与仿真结果接近。微镜A和B吸合电压正在逐步实现与CMOS电路工作电压兼容,可以将驱动电路与微镜阵列单片集成,从而为实现工艺和工作电压与CMOS工艺全面兼容的数字微镜阵列奠定了基础。

摘要： 设计了一种交错梳齿型(SVC)静电驱动MEMS微镜,首先在底层硅片上通过刻蚀预留出微镜活动空间,并进行固定梳齿组刻蚀,然后再在上面键合顶层硅片,并将顶层硅片减薄抛光至目标厚度,再在其上进行移动梳齿组和镜面结构的刻蚀.该工艺既兼顾了SVC型微镜偏转角度较大的优点,又避免了使用SOI衬底导致背面套刻精度差的缺点,提高了整个结构的稳定性,该微镜的最大理论角度可达24.7°.

摘要： 双光子荧光显微镜的微型化对在体脑部神经活动研究和体内组织病理状态检测具有非常重要意义。本文设计了一种基于电热型扫描微镜的微型化双光子荧光显微镜探头,其微镜设计采用反向串联双S型双层材料结构,通过对微镜四个侧面执行器分别施加周期信号,实现了±3.5°的扫描范围;其光学设计是通过单模光纤导入800 nm飞秒激光,激光经微镜扫描,由光学系统聚焦作用于生物样品,激发样品产生荧光,荧光信号通过采集光路汇集并耦合到多模光纤输出,最后通过显微镜的图像采集系统成像。探头尺寸为26 mm(L)×12 mm(W)×8 mm(H),重量为5.6 g。利用该显微镜探头,对含有不同尺寸凹槽的微结构进行了成像测试,其结果表明,其扫描成像的范围可以实现150μm×150μm,横向分辨率可达到5μm;利用该探头对荧光染色小鼠肾脏冷冻切片进行的成像测试,成功得到了双光子二维荧光图像。基于本装置以及进一步的改进,将有助于构建便携式双光子荧光显微镜,置于活体动物头部,在体进行脑部神经活动研究。

摘要： 微镜振动扫描技术已经较为广泛地应用在激光雷达、光学显示等科技领域,然而这种扫描通常是开环的,缺少对谐振微镜的实时角度同步测量反馈.本文提出一种基于单个光电二极管(PD)作为探测器的FPCB谐振微镜集成角度测量机理,建立了一种在谐波信号驱动下的谐振微镜同步测量模型和理论计算方法.通过对PD信号的测量计算处理,能够对在光学角度60°范围内往复偏转的FPCB微镜进行扫描角度的实时测量监控.通过联合采用PSD与栅格纸实测验证的方法,对谐振响应的相位滞后角度,微镜扫描角度幅值进行了对比验证.结果表明,本测量机理相位滞后误差小于6％,角度幅值误差小于5％.该测量机理有效地解决了扫描微镜实时旋转角度测量与有限空间布置问题,能有效地降低成本.

摘要： 针对微机电系统(MEMS)近红外光谱仪中MEMS微镜驱动系统的耦合与复杂扰动问题,提出了一种基于扰动观测器(DOB)与模型预测控制(MPC)的复合控制结构.通过分析MEMS微镜的驱动工作原理,建立MEMS微镜偏转角与驱动电压的传递函数模型,设计了MPC以消除系统耦合,通过分析系统扰动模型,设计了DOB实现对系统内部与外部扰动的集中监测.仿真研究与实验测试结果表明:基于DOB-MPC复合结构的MEMS微镜驱动控制系统,既可以有效抑制系统的外部扰动,又可以抑制由模型失配和变量耦合导致的内部扰动.

摘要： 昆虫是自然界中最庞大的生物类群，它们与人类生活的环境息息相关，是构成生态平衡体系的不可或缺的重要一环，也是让青少年格物以致知的优良媒介。我们可以通过昆虫摄影这种直观的形式，观察和记录昆虫的结构和行为等多方面特征，进而深入了解昆虫的种类以及昆虫与环境之间的关系。

摘要： 昆虫摄影，拍摄者不但需要有持久的耐心和敏锐的洞察力，更需要有足够的昆虫知识。只有了解昆虫，才能找到它们，才能充分体会到拍摄的乐趣。反过来，在拍摄了大量的昆虫照片之后，也会增强拍摄者的求知欲，促使他们去探求有关被摄昆虫的知识，从而获得精神上更大的愉悦。

摘要： The micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS)mirror is an important optical device in laser display, light beam scanning,and adaptive optics applications.MOEMS mirrors are mostly attractive electrostatically actuated in the re-ported literatures,which are troubled by the pull-in effect.Additionally,the mismatch of square actuators and circular mirror will make the fill factor much lower.A MOEMS mirror based on electrostatic repulsive circular actuator and surface fabrication process is proposed in this paper.Arranged like a ring around,the actuator matches well with the circular mirror.The designed MOEMS mirror has an aperture of 204 μm,and is fabricated by polycrystalline silicon multi-users-MEMS-processes (Poly-MUMPs)process.Simulation and experimental results show that the mirror has a maximum rotation angle of 0.62°,a response time of 494 μs and an operation bandwidth of 1.1 91 kHz,and is suitable for the common beam scanning applications.%微光机电系统(MOEMS)微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的 MOEMS 微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服其吸合效应造成的各种问题,同时,方形的驱动器难以与圆形的镜面形成良好匹配,填充比较低。提出了一种环形静电排斥驱动器的 MOEMS 微镜,该静电排斥驱动器以环形排列,并围绕在镜面的周围,达到了与圆形镜面的良好匹配。所设计的微镜口径为204μm,并利用PolyMUMPS 表面工艺进行加工。模拟仿真及实验测试结果显示,该微镜具有0.62°的最大旋转角,494μs 的响应时间和1.191 kHz 的工作带宽,适用于一般光束扫描等的应用需求。

摘要： ①大连市就业管理中心失业保险审核登记部部长于秀君（右）始终坚守在失业保险经办业务的第一线,为前来办事人员热心服务,排忧解难,以爱心温暖人心。她以＂因为热爱,所以坚守＂为信条,忠实地履行一名共产党员的神圣职责,诠释了一名就业人对党、对事业的永恒忠诚和追求。

摘要： 为了满足微镜在真空、外太空中等特殊场合应用的要求,实现远程非接触式控制,并解决传统微镜驱动方式存在的电磁干扰问题,本项目基于镧改性锆钛酸铅(PLZT)陶瓷的反常光生伏特效应及光致伸缩效应研究,提出了新型的光控非接触式微镜驱动机理,通过光-电-热-力多能场转换,实现对微镜的非接触式驱动,具有驱动清洁、远程光控、无电磁干扰的优点.

摘要： 优化设计气膜阻尼是提高静电驱动扭转微镜系统工作效率的有效途径。推导了微镜气膜阻尼扭矩和静电力扭矩计算公式，建立了静电驱动扭转微镜的系统动力学方程。在不改变系统的固有频率基础上，以系统响应的调整时间最短为目标，通过调整微镜支撑高度来优化气膜阻尼。数值仿真结果显示，当阻尼比达到0.6～0.8之间，响应的调整时间最短。

摘要： 利用硅刻蚀技术，包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合，可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件，将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作，并将集成微镜应用于多种集成光子器件的输入/输出接引端，还将集成微镜用于阵列波导光栅的制作。

摘要： 给出了测量微镜转动角度的一种光学方法,此方法是基于F-P板上下表面反射光的光程差随准直激光束的入射角变化,由测量光程差来得到微镜转动角度.此方法的测量范围为0°--90°,测量分辨率为3.2arcsec.

摘要： 介绍了一种利用KOH溶液对硅的各向异性腐蚀原理,并结合抛光技术制作垂直的光学微镜面的方法.制成的微镜高度300μm,厚度3.3μm,宽度容易控制.初步测试对1.55μm波长光源插入损耗接近1dB.

摘要： 文章简介了MEMS的特点与应用，详述了以微光机电系统(MOEMS)为基础的光开关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。

摘要： 文章简介了MEMS的特点与应用，详述了以微光机电系统(MOEMS)为基础的光开关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。

摘要： 文章简介了MEMS的特点与应用，详述了以微光机电系统(MOEMS)为基础的光开关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。

摘要： 文章简介了MEMS的特点与应用，详述了以微光机电系统(MOEMS)为基础的光开关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。

摘要： 文章简介了MEMS的特点与应用，详述了以微光机电系统(MOEMS)为基础的光开关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。

摘要： 本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10)，所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14)，其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a，18b)，其中如此成型所述背侧(14)，使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接，所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20)，其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外，本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。

摘要： 本发明提供一种MEMS微镜单元，所述MEMS微镜单元包括：镜面层，包括镜面以及设置于所述镜面背部的多个柔性力学结构；致动器层，包括交叉排列的三个致动器，每一致动器与所述镜面层的每一柔性力学结构成对设置并且通过耦合柱与相应的柔性力学结构耦合，所述致动器用于通过所述耦合柱与所述柔性力学结构以为所述镜面层提供动力；以及引线层。本发明还提供了一种MEMS微镜阵列，所述MEMS微镜阵列包含以密堆方式排列的多个所述的MEMS微镜单元。本发明提供的MEMS微镜单元可以实现三个自由度的精确可调，控制方式灵活；包含所述MEMS微镜单元的微镜阵列，具有高占空比，以及高一致性的镜面性能。

摘要： 本发明涉及一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描微镜，属于微光机电系统领域。该弯折梁的中间部分经多次弯折形成近回形结构。通过两个弯折梁将微镜板悬置连接在固定边框内侧，微镜板能够绕弯折梁轴线进行偏转。弯折梁能够有效降低梁的扭转刚度，提升扫描微镜的机械扫描性能，还能起到缓冲作用，提高了器件的抗振动和抗冲击能力，从而弯折梁可以支撑较大尺寸的扫描微镜。可以与微镜板的厚度相同，这不仅减小了器件的加工时间和加工难度，提高加工效率，同样有助于提高器件的结构可靠性。微镜板背面掏槽以减重，提高器件在环境振动中的稳定性，减少谐振频率。利用MEMS技术将固边边框、微镜板与弯折梁集成在一起，工艺简单。

摘要： 本发明的基于压电驱动方式的微镜器件以低电力化为目的，微镜器件具备：反射镜部(12)；环状的第1致动器(14)；环状的第2致动器(16)；第1连接部(21)，在第1轴上连接反射镜部(12)和第1致动器(14)，并且将反射镜部(12)支承为能够绕第1轴转动；第2连接部(22)，在与第1轴正交的第2轴上连接第1致动器(14)和第2致动器(16)，并且将第1致动器(14)支承为能够绕第2轴转动；第3连接部(23)，在第2轴上连接于第2致动器(16)的外周；及固定部(20)，连接有第3连接部(23)，并经由第3连接部(23)支承第2致动器(16)。

摘要： 本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10)，所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14)，其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a，18b)，其中如此成型所述背侧(14)，使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接，所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20)，其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外，本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。

摘要： 公开了包括微镜器件阵列的一种空间光调制器，以及这种空间光调制器的制造方法。对应于所使用的光源确定相邻微镜器件之间的中心到中心距离和间隙，以便使光学效率和性能最高。该微镜器件包括形成在基板上的铰链支架，以及由铰链支架支撑的铰链。镜片通过触点与铰链连接，并且根据镜片所需的最大旋转角度、相邻微镜之间的最佳间隙和间距来确定镜片与铰链之间的距离。在这种空间光调制器的制造方法中，将一个牺牲层沉积到基板上，之后形成镜片，并将另一牺牲层沉积到镜片上，随后形成铰链支架。用自发气相化学蚀刻剂通过相邻反射镜器件之间的小间隙，去除两个牺牲层。此外，还公开了一种投影系统，它包括这种空间光调制器以及光源、聚光光学装置，其中光源发出的光被聚焦到微镜阵列上，还包括将微镜阵列有选择反射的光投射到靶上的投影光学装置，以及用于有选择地驱动阵列中微镜的控制器。

摘要： 一种具有微纳结构的微镜、微镜制备方法及激光显示系统。本发明提供一种具有微纳结构的微镜，其包括基材层、微纳结构层和反射层，所述微纳结构层位于所述基材层的上方，且所述微纳结构层设置于所述基材层表面的特定区域内，所述微纳结构层为微透镜阵列或菲涅尔透镜阵列，所述反射层位于所述微纳结构层上方。本发明微镜的制备基于纳米压印技术或纳米打印技术或光刻胶热熔工艺，集成了曲面反射微纳结构，且微纳结构精度高、尺寸小，可实现更加均匀的微纳结构分布，使反射的各子光束能量更为均匀，使散斑抑制效果更佳。

摘要： 本发明提供了一种具有杂散光消除功能的MEMS微镜、激光扫描设备和微镜的制作方法。具有杂散光消除功能的MEMS微镜，其特征在于，包括：框架结构，框架结构的表面设置有消光层，框架结构具有孔结构；扭转结构，扭转结构设置在孔结构处，且扭转结构与孔结构的孔壁连接；反射镜，扭转结构支撑反射镜。本发明解决了现有技术中MEMS微镜存在杂散光的问题。

摘要： 本发明公开了压电驱动结构、压电微镜和压电微镜制备方法，所述压电驱动结构包括压电层、压电层上方连续的上电极和压电层下方连续的下电极，所述上电极上方一端设置有上介质层，所述下电极下方设置有下介质层，所述上介质层和所述下介质层长度小于所述压电层，在所述压电层所处的水平面上所述上介质层和所述下介质层在水平方向不完全重合。本发明针对无侧向位移和转角的压电Bimorph驱动结构存在的驱动电路复杂，引线繁琐、驱动效率低等问题，提出新的简化结构和制备方案，该方案中Bimorph驱动结构无需设置专门的引线。

摘要： 本说明书实施例提供了一种数字微镜阵列芯片制备方法及数字微镜阵列芯片，其中，方法包括：根据所需要的入射光调制目标设计所需的微镜结构和阵列排布，并根据设计的所述微镜结构和阵列排布在纳米薄膜上加工数字微镜阵列；根据所述微镜结构、所述阵列排布以及所需的入射光调制目标在微镜结构处制备对单个微镜结构独立控制的外部驱动电路；将所述数字微镜阵列和所述外部驱动电路进行封装，形成数字微镜阵列芯片。