热处理效应对Sn-Al与Sn-Ca纳米薄膜的电磁屏蔽机制

摘要

利用溅镀Sn-Al纳米薄膜和Sn-Cu纳米薄膜讨论结晶机制与膜厚对电磁波屏蔽特性的影响,比较了Sn-Al和Sn-Cu薄膜的高温显微组织、导电性与电磁波屏蔽性能。结果表明,高温处理提高了Sn-Al纳米薄膜的电磁波屏蔽性。在低频条件下,高Cu摩尔浓度的Sn-Cu纳米薄膜不能有效改善电磁波屏蔽性;高温处理后,低Cu摩浓度的Sn-Cu纳米薄膜能提高低频的电磁波屏蔽性,而高频下的电磁波屏蔽性则呈相反趋势。