Sn元素在磁控溅射Al-Fe-Sn合金薄膜结构变化中的作用

摘要

利用磁控溅射法制备了Al-Fe-Sn合金薄膜,并综合利用透射电子显微镜（TEM）、X射线衍射仪（ XRD）和光电子能谱仪（XPS）等测试手段,获得了溅射态及550℃退火态Al-Fe-Sn合金薄膜的结构及成分信息,并在此基础上,对Sn元素在所制备出的Al-Fe合金薄膜中相变的作用提出了相关模型. 在所采用的溅射工艺下,得到Sn在α-Al中的固溶体. 在退火过程中,Sn首先会从A1基体中脱溶出来,在表面优先富集. 当退火温度进一步升高至550 ℃时,在晶界处残余的Sn 会重新固溶进入A1基体中,通过与A1原子结合对Al-Fe相的生成起到阻碍作用,并且使得扩散进入薄膜的Si与Fe结合,进而形成e-FeSi相.