硅基MIS隧道二极管的研究

摘要

硅基ＭＩＳ隧道发光二极管为制造用于超大规模集成电路的硅基光器件提供了可能性，报道了ＭＩＳ隧道发光二极管的制作 过程，电流电压和发射光谱特性，讨论了负阻现象和发光机理。