Al/ZnO∶Al薄膜结构的荧光增强效应

摘要

利用物理气相沉积设备制备了Al/ZnO∶ Al薄膜样品,研究了该薄膜结构的发光特性.结果表明,在ZnO∶ Al薄膜表面镀一层Al岛薄膜可以增强其带边荧光,同时在475 nm附近产生蓝光峰.通过在Al岛薄膜和ZnO∶ Al薄膜之间引入一层5 nm的Ta2O5绝缘层可以使ZnO∶ Al薄膜的带边荧光和蓝光显著增强,并随着Ta2O5绝缘层厚度的增大而减弱.通过对Al/ZnO∶ Al样品进行退火处理可以使带边荧光和蓝光峰分别增强9倍和83倍.基于局域表面等离子体共振理论,计算了Al/ZnO∶ Al纳米结构的光学散射和吸收截面曲线.实验结果与理论计算相一致.