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【2h】

Comparison of Nitrogen and Oxygen Annealing Effects on the Structural, Optical and Electrical Properties of ALD-ZnO Thin Films

机译：氮气退火效应对Ald-ZnO薄膜结构，光学和电性能的比较

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作者
Y. K. Park; A. N. Park; C. M. Lee;
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年度 2005
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