圆盘尺寸对InP发光二极管的光谱调控

摘要

片上可集成光源一直是光通信领域的研究热点。磷化铟(InP)材料是构建通信波段光源的理想材料。本文采用标准半导体工艺在InP衬底上制备了圆盘形微腔发光器件。通过制备四种尺寸的圆盘微腔发光二极管,研究了尺寸大小对于器件的性能,包括光强、半高宽、中心波长偏移等参数的影响。本研究对于电驱动光源的制备和实现通信波段的光通信具有重要意义。