BST/Si-NPA复合薄膜的湿敏电容特性研究

摘要

本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以Si-NPA为衬底,制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜,并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究.结果表明,环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响.在100 Hz的测试信号频率下,当环境的相对湿度从11%上升到95%时,BST/Si-NPA湿敏元件的电容增量可达起始值的4 400%,显示出较高的湿度敏感性.同时,元件的响应时间和恢复时间均约为42 s,表现出较快的时间响应和均衡的吸附/脱附.最后,通过复阻抗法讨论了元件的感湿机理.