基于活性炭结合无机材料掺杂聚酰亚胺的多层湿敏薄膜以及复合湿敏元件

摘要

本发明属于敏感材料与光纤传感交叉领域,提供了一种基于无机材料掺杂聚酰亚胺的多层湿敏薄膜以及复合湿敏元件。所述复合湿敏元件由波导光栅和多层湿敏薄膜两部分组成；其中，湿敏薄膜是由活性炭、湿敏无机盐以及聚酰亚胺三者复合而成。本发明还公开了湿敏薄膜的制备方法，以聚酰亚胺为主体，加入湿敏无机盐复合得到初步复合薄膜，并在薄膜表面涂覆活性炭粉末，获得最终的湿敏薄膜。本发明所制备的复合湿敏元件具有响应线性好、灵敏度高、湿滞小、响应时间短、重复性好等优点，相对于基于纯聚酰亚胺的湿敏元件，灵敏度低，湿滞大和长期稳定性差等缺陷得到了改善，可广泛应用于湿度的精确测量。