微构件所受超声辐射力理论研究

摘要

为了将超声波俘获技术应用到微机电系统中,以达到对微构件进行无损、非接触遥操纵的目的,开展了微构件在超声波场中所受辐射力的理论研究.计算机仿真结果表明:微构件的材料与尺寸、介质的密度、超声波的声学参数等都对微构件所受辐射力产生影响,同时,利用超声驻波场技术实现对微构件的操纵是可行的.