利用超声辐射力和力矩复合操纵微机械构件的方法

摘要

本发明公开了一种利用超声辐射力和力矩复合操纵微机械构件的方法，应用六个平面超声换能器，分成两组，同一时间只使用一组超声换能器工作，三束平面超声波叠加合成一个二维驻波场，微构件被超声辐射力俘获在声势阱中，通过快速切换两组超声换能器工作，使二维驻波场旋转，声势阱的位置和取向发生改变，在超声辐射力和力矩的共同作用下，微构件同时发生传输和旋转。通过高速显微摄像系统对微构件进行前后位置标定和调整超声换能器的相位，把微构件传输回到原来的位置，使微构件仅发生自身旋转。此方法在复杂精细的微机电系统制造与装配、细胞生物工程等高科技领域有广阔的应用前景。