低温半导体器件模拟中若干问题与对策

摘要

低温半导体器件以其优异的性能,可以满足军用和民用等领域中常规器件无法满足的特殊要求.低温微电子学日益成为微电子技术的重要的发展方向,而低温器件计算机模拟则是低温器件分析与设计的重要手段.本文着重讨论了常温下半导体器件的计算机模拟方法在低温下的蜕变及相应的对策,分析了导致常温下方法失效的主要物理参数的低温模型,并提出了低温器件模拟加速收敛的几种数值技术.