微量程合金薄膜压力传感器

摘要

采用Ｃ型和Ｅ型整体平膜片结构，制造了０．１－６０ＭＰＡ量程范围的合金薄膜压力传感器，为实现０．１ＭＰＡ以下低微压力的测量，提出了新颖的ＥＩ型力学结构。本文叙述了该结构匠工作原理，设计依据，以及应用微细加工技术的工艺特点。