真空微电子的发展

摘要

本文回顾了近十年来，真空微电子在材料（硅、金属、砷化镓和金刚石膜）、制备工艺、阴极结构及应用等方面的进展。并详细介绍一些新阴极结构的制备方法与特点，供选择参考。