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MEMS静电执行光开关的设计与实验

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摘要

介绍了一种基于静电执行的自对准型垂直镜面微机械光开关,该光开关由垂直反射镜面、悬臂梁、光纤定位槽等组成.微反射镜和V型光纤定位槽的自对准由同一块掩膜板实现.微反射镜和V字型光纤槽通过对(100)单晶硅的各向异性腐蚀实现.论文给出光开关的结构设计,并实验验证了上述自对准光开关的加工工艺.

著录项

来源
《电子器件》 |2003年第3期|240-243252|共5页
作者
王科平; 葛峻; 秦明;
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作者单位

东南大学MEMES教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMES教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMES教育部重点实验室,南京,210096;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体光电器件;
关键词
MEMS; 光开关; 静电执行; 自对准;

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