二维CMOS风速计集成控制电路研究

吴剑群; 秦明

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一种适用于二维CMOS风速计的集成控制电路,是采用恒温差的控制模式,能同时测量风速和风向.在简单介绍了该风速计的测量原理之后,主要介绍了恒温差控制电路的电路指标,方案选择,并给出了电路结构.通过SPICE模拟并经24所制造和后续的测试,最后给出了流片的静态测试结果.从静态特性看能满足我们的测试要求,并为下一步的动态测试奠定了基础.

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来源
《电子器件》|2006年第1期|95-97101|共4页
作者
吴剑群; 秦明;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类线性集成电路、模拟集成电路;
关键词
风速计; 恒温差控制; CMOS; 放大电路;

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