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刘海瑞; 王正言; 陈栋泉;
北京应用物理与计算数学研究所;
电子束泵浦; 能量沉积; KrF准分子激光; 反应动力学; 弛豫速率; 计算数学; 程序研究; 应用物理; KrF激光器; 饱和流;
机译:百焦级KrF准分子激光器的两面电子束泵浦系统
机译:泵浦KrF准分子激光用“ Heaven-1”强电子束加速器的改进
机译:两侧电子束泵浦KrF准分子激光系统和El的充电
机译:大孔径KrF放大器的电子束泵浦和能量提取
机译:萘与OH在240-340 K和1-3托下的反应动力学和动力学研究,(PAH)+ OH的动力学研究以及二氧化碳的研究。
机译:用KrF准分子激光辐照在掺杂的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜上制备周期性表面结构
机译:气体混合比对排出泵浦KRF准分子激光激光输出能量的影响
机译:电子束泵浦KrF放大器中的电子能量沉积:束功率和能量的影响。
机译:适于作为酸产生剂的盐,适用于ARF准分子激光光刻,KRF准分子激光光刻,EUV,乳化光刻和电子束光刻的光致抗蚀剂组合物,以及光致抗蚀剂的制造方法
机译:在从G线,I线,KrF准分子激光和电子束中选择的至少两种曝光光源中进行曝光的过程中使用的负阻组合物,以及抗蚀剂图案形成方法
机译:从G线,I线,KrF准分子激光和电子束中选择的至少两种曝光光源在曝光过程中使用的正性抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法
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