电子束泵浦KrF激光MOPA系统的同步控制

摘要

介绍研究出的MOPA系统完整的同步控制时间关联逻辑、各单元启动方式及同步系统的硬件.由Fe-Nb-Cu超微晶薄膜材料做成的同轴单匝磁开关及脉冲变压器产生大约150kV、上升时间小于200ns的高压,触发MOPA系统中的Marx发生器.当火花隙欠压比为90%时,Marx发生器中电压建立的时间抖动分别小于13ns和23ns.采用激光触发主开关时,泵浦功率系统总体抖动时间小于10ns,保证了整个电子束泵浦KrF激光MOPA系统的正常运行.