电子束泵浦KrF激光MOPA系统的同步控制

摘要

电子束泵浦KrF激光MOPA系统的多个关键单元需要低抖动精确定时同步控制，该工作给出了MOPA系统完整的同步控制的时间关联逻辑、各单元启动方式及同步系统的硬件，包括同步机、精确时间延迟器、高压脉冲发生器。磁开关及高压脉冲变压器等。同轴单匝磁开关由Fe-Nb-Cu超微晶薄膜材料做成。为增大磁芯方形比（Br/Bs≥0.9），磁芯做成后在强纵向磁场下处理磁开关及脉仲变压器产生幅度（134±2）kV，上升时间小于200ns高压。用此高压触发MOPA系统预放大器中的Marx发生器，当火花隙欠压比为90时，获建立时间<350ns抖动小于20ns的初步结果。此项工作目前仍在改进之中。