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关维恕; 文允鉴; 程仕清; 郝树莉; 陈学盟; 方彦;
核工业西南物理研究院;
成都;
等离子体增强CVD; 实验装置; 电子温度; 微波等离子体增强化学气相沉积; 电子回旋共振等离子体; 电子密度; 等离子体室; 微波击穿; 工作气压; 磁场位形;
机译:微波等离子体增强CVD和RF等离子体增强CVD法沉积类金刚石碳膜的磨损寿命评估
机译:微波等离子体增强CVD在高功率下在硅衬底上生长大规模异质外延3C-SiC薄膜和纳米片
机译:生长条件对微波等离子体增强CVD生长金刚石涂层组织和缺陷的影响
机译:一步微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)用于透明的SnPerhydrophociC表面
机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)合成和表征金刚石薄膜。
机译:通过微波等离子体增强CVD的低电阻率Si的选择性生长和接触间隙填充
机译:用于测量牛顿流体中的氧气kLa的生物反应器实验装置的设计,建造和调试
机译:微波等离子体在丙酮/氧气和丙酮/二氧化碳混合物中生长的CVD金刚石
机译:微波等离子体CVD模和微波等离子体CVD装置
机译:微波等离子体CVD方法和微波等离子体CVD装置
机译:具有微波等离子体电极和等离子体CVD工艺的等离子体CVD系统
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