一种提高稳定性微波等离子体CVD制备单晶金刚石装置及单晶金刚石制备方法

摘要

本发明涉及金刚石基底制备技术领域，具体涉及一种提高稳定性微波等离子体CVD制备单晶金刚石装置及单晶金刚石制备方法，所述装置包括微波发生器，微波发生器下方设有波导体，波导体与天线连接，天线下方设有微波介质窗口，微波介质窗口下方设有钼托，钼托上方设有单晶金刚石籽晶，天线、微波介质窗口、钼托和单晶金刚石籽晶置于腔体内部。本发明可保障电源无间断生产，如果某台微波发生器出现异常则电源系统会自动进行补偿，或者启动其他发生器，保证生产的连续。