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柴展; 徐卫平; 侯晓多; 张贵锋;
大连理工大学材料科学与工程学院,辽宁大连116024;
三束材料表面改性国家重点实验室,辽宁大连116024;
射频等离子体; 类金刚石薄膜; 光谱拟合; 介电模型;
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