高导电高透明性ZnO：Al透明导电膜的制备工艺研究

摘要

本文采用溶庭-凝胶法，利用浸渍下降涂膜装置及氮气退火工艺成功制备出高透光率、高导电的掺铝氧化锌（ZnO：Al，AZO）透明导电膜，并对薄膜性能进行了表征。结果表明：氮气退火处理对AZO薄膜结构及光电性能有较大影响，退火处理后的薄膜c轴择优取向明显，晶粒尺寸变大，结晶程度变好，电阻率较空气中退火下降4～5个数量级，最低方块电阻为24Ω／□，平均透光率达80％以上。