水平液相外延设备控制系统研究与设计

摘要

液相外延(LPE)是制备碲镉汞(HgCdTe)薄膜的主流工艺技术,也是Hg CdTe红外焦平面器件制造的最关键工序,目前国外发达国家生产的LPE设备已经对我国禁运。为了实现LPE设备的国产替代,我们对设备进行研究,设计了一套满足高精度温度控制、工艺压力控制、自动拉舟等要求的控制系统,并详细介绍了该控制系统下位机和上位机软件的设计思路,并给出了相关的设计流程图。