焦平面列阵的智能加工：用于（Hg,Cd）Te液相外延的传感器及控制技术

摘要

在生长用于焦平面阵列的高质量（Ｈｇ，Ｃｄ）Ｔｅ薄膜方面，液相外延（ＬＰＥ）是优选用的技术，在生产环境中成功执行这一流程需要研究先进的传感器和流程控制技术，这样可以提高产量，降低成本，本文将评论得克萨斯仪器公司的智能处理焦平面列阵计划所取得的进展，（Ｈｇ，Ｃｄ）Ｔｅ液相外延薄膜是在（１１１）Ｂ取向的（Ｃｄ，Ｚｎ）Ｔｅ衬底上生长的，衬底放在盛有大量（４５００ｇ）碲镉汞溶液的垂直浸渍反应器中，在一个生长