水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法及生长方法

摘要

本发明公开了一种水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法及生长方法。该水平液相外延石墨舟包括底托；衬底放置板，衬底放置板设有衬底槽；母液存放板，母液存放板设有母液槽，母液槽与衬底槽在纵向对齐；滑动设置于衬底放置板与母液存放板之间的滑条，滑条上设有母液陷落通道，滑条位于第一位置时，母液陷落通道连通母液槽与衬底槽，滑条位于第二位置时，滑条将母液槽和衬底槽隔断；以及设置于母液存放板上的盖板。该水平液相外延石墨舟在外延生长过程中衬底槽的位置始终不发生变化，母液槽和衬底槽在纵向对齐，使得母液和衬底在纵向始终处于同一温度场中，减小了母液和衬底之间的温度差异，提高了温场均匀性，提高了薄膜材料的均匀性。