气体质量流量控制器的分流器的设计

摘要

分流器是气体质量流量控制器中的一个重要部件。分流器是否合适将对气体质量流量控制器的性能指标,如精度、线性等重要指标参数有直接的影响。合适的分流器能够改善产品的精度、线性等性能指标;反之,不合适的分流器将会使得产品的精度、线性等指标参数超差,最终导致产品成为不合格品。为解决分流器的设计问题,本文根据流体力学的理论,建立气体质量流量控制器的分流器的数学模型。该模型能够为分流器的设计和计算提供理论依据。