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光照对半导体电阻率测试的影响分析

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摘要

四探针测试法是测量半导体材料电阻率的主要手段,光照是影响测试精度的一种环境因素.文章利用RTS-8型四探针测试仪在不同光照环境下对样品进行测试,分析测量数据,结合相关理论,研究光照对测量结果的影响机制.

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来源
《中国高新技术企业（中旬刊）》 |2012年第9期|60-61|共2页
作者
韩萌;
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作者单位

南京信息职业技术学院;

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正文语种 chi
中图分类化学元素与无机化合物;
关键词
光照; 电阻率; 半导体; 光子能量;

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