电子级三氯氢硅特种气体应用研究

摘要

电子级三氯氢硅是半导体行业不可或缺的重要电子特种气体原材料,国内目前主要依赖进口.随着我国集成电路行业快速增长,对电子级三氯氢硅需求呈日益增长态势.实现电子级三氯氢硅特种气体的国产化,对我国集成电路行业发展意义重大.本文重点分析电子级三氯氢硅特种气体在芯片制造过程的作用,接着分析生产提纯技术、充装要点以及质量控制要求.