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电子级磷酸的制备工艺与应用研究进展

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电子级磷酸是大规模集成电路(IC)、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、半导体等微电子工业必用的清洗剂和蚀刻剂.本文在探讨了电子级磷酸制备工艺基础上,对电子级磷酸的质量标准与检测方法予以综述,并对其应用前景予以展望.

著录项

来源
《化工技术与开发》 |2012年第2期|32-34,4|共4页
作者
林军; 吴小海; 洪春美; 王文营; 彭艳霞; 朱永艳;
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作者单位

广西明利集团有限公司,广西南宁530031;

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广西明利集团有限公司,广西南宁530031;

广西明利集团有限公司,广西南宁530031;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类磷的含氧酸类;
关键词
电子级磷酸; 合成工艺; 纯化技术; 检测; 应用;

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