一种同时生产电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅及电子级四氯化硅的方法

摘要

本发明涉及一种同时生产电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅及电子级四氯化硅的方法，以粗品三氯氢硅为原料，包括一次除尘、气相吸附、一次脱轻组分、一次脱重组分、歧化、添加络合剂、二次除尘、一次分离、二次分离处理、二次脱轻组分处理、二次脱重组分处理、三次分离处理、三次脱轻组分、三次脱重组分、四次脱轻组分、四次脱重组分等步骤。本发明工艺路线，是在现有的制造电子级二氯二氢硅的工艺路线上，通过步骤的变化及调整，对原材料三氯氢硅纯度要求降低，可同时得到的电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅和电子级四氯化硅，金属杂质、氯硅烷杂质以及硼等杂质含量少，质量稳定且能满足大型集成电路对产品的要求。