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目录
第一章 文献综述
1.1研究背景
1.2多晶硅主要生产工艺介绍
1.3四氯化硅的综合利用
1.4四氯化硅的氢化技术
1.5低温等离子反应介绍
1.6本文研究目的和内容
第二章 四氯化硅低温等离子体氢化试验探索
2.1引言
2.2实验流程
2.3实验设备与试剂
2.4实验测量系统
2.5四氯化硅低温等离子体氢化工艺探索
2.6低温等离子体还原四氯化硅反应机理研究
2.7小结
第三章 镍催化剂用于四氯化硅氢化的研究
3.1引言
3.2实验流程
3.3主要化学仪器和试剂
3.4实验测量及控制系统
3.5负载型镍催化剂的制备
3.6不同类型镍催化剂活性的研究
3.7 Ni/HZSM-5催化剂工艺参数研究
3.8小结
第四章 结论与展望
4.1结论
4.2展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢