多晶硅成品检测实验室样品双面抛光技术改进

摘要

对两种抛光方法的原理及效果等特点进行了分析比较，指出了多晶硅成品检测实验室采用物理抛光方法能在效果和成本方面达到最佳。并对物理抛光方法进行了改进。