抛光技术
抛光技术的相关文献在1987年到2022年内共计162篇,主要集中在金属学与金属工艺、轻工业、手工业、无线电电子学、电信技术
等领域,其中期刊论文108篇、会议论文17篇、专利文献216179篇;相关期刊84种,包括军民两用技术与产品、中国学术期刊文摘、西安工业大学学报等;
相关会议15种,包括2015光电子玻璃及材料技术交流研讨会、上海市激光学会2015年学术年会、2014年“中国化学纤维工业协会·恒逸基金”优秀学术论文研讨会等;抛光技术的相关文献由282位作者贡献,包括吕冰海、邓乾发、季仁良等。
抛光技术—发文量
专利文献>
论文:216179篇
占比:99.94%
总计:216304篇
抛光技术
-研究学者
- 吕冰海
- 邓乾发
- 季仁良
- 段世祥
- 祝佳俊
- 苗静
- 蔡勇
- 蔡靖宇
- 袁巨龙
- 褚宏深
- 万关良
- 万嵩林
- 丛于善
- 侯晶
- 周亚峰
- 周涛
- 姚泽强
- 常敏
- 张云飞
- 张伟
- 张建飞
- 李凯隆
- 李洪玉
- 杨李茗
- 柳志亨
- 樊炜
- 汪洪源
- 焦绘民
- 王佳焕
- 田东
- 罗波
- 肖德明
- 肖永辉
- 谭支军
- 邵建达
- 邵琦
- 邵蓝樱
- 郑永成
- 陈立
- 雷向阳
- 顾昊金
- 魏朝阳
- 黄文
- 黄林昱
- Annedore Munde
- CanhamL
- DOU Wei-Ping
- F·S·M
- GAO Xiang
- HUANG Yu-Lu
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彭云峰;
杨磊;
刘晓阳
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摘要:
氟化钙(Calcium fluoride,CaF_(2))晶体是一种非常重要的光学晶体,因其具备高透射率和良好的长期辐射稳定性被广泛应用于光学仪器中。随着光刻技术向较短波长的发展,CaF_(2)更是成为极紫外光刻物镜的首选材料。CaF_(2)是一种典型的脆性材料,断裂韧性很低,一般通过抛光加工制成CaF_(2)光学表面,所以其抛光加工技术与工艺尤其重要。总结了CaF_(2)的主要加工方法、工艺及研究成果,介绍了其粗加工阶段所涉及的超精密切削和固结磨料研磨方法;重点从超精密抛光这一方面,较全面地概述了浮法抛光、化学机械抛光、固结磨料抛光、磁流变抛光、振动辅助固结磨料抛光和离子束抛光等抛光方法的原理及进展,并对以上加工方法进行对比;最后,对CaF_(2)抛光加工技术的未来发展方向做了初步展望。希望能为CaF_(2)加工领域后续深入研究提供参考。
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崔严匀;
袁敏杰;
王训辉;
张德伟;
张弘毅
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摘要:
就目前而言,碳化硅抛光方法依旧存在损伤大、效率低、有污染等问题,因此研发一种高精高效单晶碳化硅表面抛光技术极为重要.文章提出光催化辅助化学机械抛光与机械研磨组合的工艺技术,获得表面粗糙度约为0.47nm,基本能够满足超光滑、低损伤且高效的抛光要求.
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许永超;
徐西鹏(指导);
陆静(指导)
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摘要:
由于蓝宝石材料硬度大、脆性高和耐腐蚀,传统的铜抛和化学机械抛光方法存在着加工效率低、成本高和污染环境等缺点。本文基于固相反应原理提出了软硬混合磨料抛光蓝宝石衬底的新构想,开展了针对蓝宝石衬底的混合磨料抛光技术研究。通过理论和试验的方法研究了不同种类软磨料与蓝宝石在研抛条件下的反应活性。研究表明在摩擦力诱导的条件下,二氧化硅较氧化镁和氧化铁磨料对蓝宝石具有更高的反应活性,最易与蓝宝石发生固相化学反应生成硅酸铝盐。
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王永强;
尹韶辉
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摘要:
随着光电通信及半导体照明技术的迅速发展,超光滑平面元器件需求越来越大。该类器件表面要求达到亚纳米级表面粗糙度、微米级面形精度且无表面和亚表面损伤,传统超精密抛光技术难以兼顾效率、成本及损伤等多方面的要求,无法适应大批量生产。论文在对比分析国内外超光滑表面加工技术的基础上,提出了一种大抛光模磁流变超光滑平面抛光技术,为面形精度在微米级的超光滑平面提供一种高效低廉的无损抛光加工方法,大幅增加瞬时抛光面积,显著提高了抛光效率。论文的研究成果对提高我国光电通信、半导体、LED、3C器件的加工技术水平,建立拥有自主知识产权的高效、无损、超光滑平整加工技术,具有重要的理论和实际意义。
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赵阳;
程鑫彬;
李同保
- 《上海市激光学会2015年学术年会》
| 2015年
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摘要:
多层膜光栅传递标准是计量和表征纳米尺度器件线宽小于50nm的有效工具,光栅样品的制备主要包括镀膜、切割、胶合、抛光和选择性刻蚀.抛光技术对于光栅样品截面的粗糙度有着较大的影响,而粗糙度是影响多层膜光栅能否作为传递标准的一个重要因素.采用不同的抛光方式,利用原子力显微镜(AFM)对其截面进行表征,通过优化抛光技术不断降低截面的粗糙度,制备出了粗糙度小于1nm的样品.
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张永强;
王晓;
向勇
- 《2015光电子玻璃及材料技术交流研讨会》
| 2015年
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摘要:
近年来,随着手机从按键式向触摸屏转变,特别是苹果手机对手机应用带来的变革,市场对液晶面板显示质量需求越来越高,不仅是面板厚度要求越来越薄,同时对面板表面划痕要求也越来越高.通过精密分级抛光粉最大颗粒和悬浮性对抛光过程划痕影响的测试研究表明,控制抛光粉的最大颗粒粒径以及保持抛光液良好悬浮性,可有效地消除抛光的划痕现象.
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张永强;
王晓;
向勇
- 《2015光电子玻璃及材料技术交流研讨会》
| 2015年
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摘要:
近年来,随着手机从按键式向触摸屏转变,特别是苹果手机对手机应用带来的变革,市场对液晶面板显示质量需求越来越高,不仅是面板厚度要求越来越薄,同时对面板表面划痕要求也越来越高.通过精密分级抛光粉最大颗粒和悬浮性对抛光过程划痕影响的测试研究表明,控制抛光粉的最大颗粒粒径以及保持抛光液良好悬浮性,可有效地消除抛光的划痕现象.
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张永强;
王晓;
向勇
- 《2015光电子玻璃及材料技术交流研讨会》
| 2015年
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摘要:
近年来,随着手机从按键式向触摸屏转变,特别是苹果手机对手机应用带来的变革,市场对液晶面板显示质量需求越来越高,不仅是面板厚度要求越来越薄,同时对面板表面划痕要求也越来越高.通过精密分级抛光粉最大颗粒和悬浮性对抛光过程划痕影响的测试研究表明,控制抛光粉的最大颗粒粒径以及保持抛光液良好悬浮性,可有效地消除抛光的划痕现象.
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张永强;
王晓;
向勇
- 《2015光电子玻璃及材料技术交流研讨会》
| 2015年
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摘要:
近年来,随着手机从按键式向触摸屏转变,特别是苹果手机对手机应用带来的变革,市场对液晶面板显示质量需求越来越高,不仅是面板厚度要求越来越薄,同时对面板表面划痕要求也越来越高.通过精密分级抛光粉最大颗粒和悬浮性对抛光过程划痕影响的测试研究表明,控制抛光粉的最大颗粒粒径以及保持抛光液良好悬浮性,可有效地消除抛光的划痕现象.
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张永强;
王晓;
向勇
- 《2015光电子玻璃及材料技术交流研讨会》
| 2015年
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摘要:
近年来,随着手机从按键式向触摸屏转变,特别是苹果手机对手机应用带来的变革,市场对液晶面板显示质量需求越来越高,不仅是面板厚度要求越来越薄,同时对面板表面划痕要求也越来越高.通过精密分级抛光粉最大颗粒和悬浮性对抛光过程划痕影响的测试研究表明,控制抛光粉的最大颗粒粒径以及保持抛光液良好悬浮性,可有效地消除抛光的划痕现象.
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张永强;
王晓;
向勇
- 《2015光电子玻璃及材料技术交流研讨会》
| 2015年
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摘要:
近年来,随着手机从按键式向触摸屏转变,特别是苹果手机对手机应用带来的变革,市场对液晶面板显示质量需求越来越高,不仅是面板厚度要求越来越薄,同时对面板表面划痕要求也越来越高.通过精密分级抛光粉最大颗粒和悬浮性对抛光过程划痕影响的测试研究表明,控制抛光粉的最大颗粒粒径以及保持抛光液良好悬浮性,可有效地消除抛光的划痕现象.
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YU Yong-min;
于永民;
Li Feng;
李峰
- 《2014年“中国化学纤维工业协会·恒逸基金”优秀学术论文研讨会》
| 2014年
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摘要:
为了实现锥形筒子络纱时的等速和等密度卷绕,槽筒表面上设计有左右旋往复式大导程、变螺距、变旋转角以及变深度的锥形螺旋沟槽。分析了传统抛光的缺点,认为传统抛光是以被抛光工件的表面形状为基准的"被动"仿形.提出了"主动"仿形的概念,并对"主动"仿形的原理进行了分析计算,给出了计算公式和参数选取的原则.在此基础上建立了"主动"仿形的抛光方法:以金属槽筒螺旋槽设计曲线为基准,通过控制运动关系,合成出符合设计要求的虚拟曲线;通过运动调整,使游离态磨料形成与虚拟螺旋线相契合的螺旋磨料流,并按虚拟螺旋线进行抛光.初步抛光试验结果表明,该抛光方法实现了对金属槽筒螺旋槽的自动抛光,解决了人工操作生产周期长、表面一致性差、质量不稳定等问题.同时,也为类似零件实现自动抛光提供了一种新的思路和方法.