スケルトン両面研磨機における試料挙動の解明

摘要

一般的な両面研磨では研磨加工中の試料挙動を直接観察することは難しく，加工条件が試料挙動にもたらす影響については不明な点が多い．そこで本研究では定盤を透明度の高い材料で作成し，下定盤と同期して回転するカメラを用いて研磨中の様子を観察する．撮影動画より，キャリア·試料形状が試料の位置·回転角速度に与える影響を取得するため，溝付き定盤に対応した画像処理アルゴリズムを開発し，加工条件に対する試料挙動の定量的な解析を実現した．