CCD在光学器件表面疵病度测量中的应用

摘要

CCD(Charged Coupled Device)具有体积小、重量轻、可靠性高等特点.通过CCD,可以实现光电转换、信号储存转移(传输)、处理等一系列功能.表面疵病对于硅片、光盘、光学器件的表面质量产生很大影响,CCD作为一种非常有效的非接触检测方法,具有无损伤、高精度、高速度的优点.