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电化学和抛光轮复合平面抛光技术

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电化学和抛光轮复合平面抛光技术电化学和抛光轮复合抛光（Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌｂｕｆｆｉｎｇ，ＥＣＢ）是一种亚微米级表面粗糙度的抛光技术。该技术对制造ＵＬＳＩ（极大规模集成电路）和提高超真空系统性能都具有优良的效果．１ＥＣＢ原理ＥＣＢ又称为电解...

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来源
《航空精密制造技术》 |1995年第2期|P.39-39|共1页
作者
方次尹;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类抛光;
关键词
抛光技术; 复合平面; 抛光轮; 电化学; 表面粗糙度; 金属表面; 极大规模集成电路; 电解液; 超镜面; 钝化膜;

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