激光化学气相沉积

摘要

激光化学气相沉积是70年代后期迅速发展起来的新技术。目前仍处于研究阶段,并开始走向应用阶段。激光化学气相沉积通过激光对反应气体和基材表面的相互作用,在基材表面沉积薄膜,其机理有激光热沉积和激光光化沉积两种。使用的激光波长有红外、可见光和紫外,有功率数瓦至千瓦级的连续激光,也有脉冲激光。沉积的薄膜有TiC、SiC、Ni、W、Si₃N₄、TiSi₂、