振动式微电子机械系统的非线性动力学

摘要

让我们研究一种微电子机械系统转换陀螺仪，当测试块进行重要位移时，该支撑棵的非线性硬化特征变的更为明显。因此，该结构的谐振随着较高频率的变化而弯曲。这一特征用于简单的同步感应和驱动反应从而增加微电子机械系统陀螺仪的感应度。通过测试结构设计进入支撑揉的高失真区域，它的非线性振动在实验性和数值性上都进行了研究。一般情况下，一个简单的非线性集合参数模型时可以充分解析该陀螺仪系统的，并且通过半分析整合方法可以很快的得出该系统动力学反应的稳定和不稳定部分结构解析。