并联六自由度主动减振平台解耦控制策略研究

摘要

并联六自由度主动减振平台可有效隔离外界低频微振动对加速器BPM及光束线站等精密设备的影响,由于并联六自由度主动减振平台具有很强的耦合特性,需对平台的耦合特性进行分析研究.本文以压电陶瓷驱动器构建并联六自由度主动减振平台,在平台运动学的基础上,采用Newton-Euler法建立了平台的动力学模型.分析了平台各通道间的耦合特性,设计了一种通用的平台解耦控制策略.搭建了实验验证平台,开展次级通道参数测量与减振实验研究.实验结果表明,设计的多通道解耦控制策略是有效的,平台对低频微振动有良好的减振效果.