校正AFM、SEM和OCD设备的线宽标准

摘要

负责度量的半导体制造工程师总是要不断地确定他的设备一不管是原子力显微镜（AFM）、SEM还是其它设备一是否被正确校准。这就需要更可靠、可追踪的线宽标准，但这并不总是容易做到的。