机译:线宽标准,用于校准AFM,SEM和OCD工具
机译:带有梯形轮廓的线宽测试对象,以及用于SEM和AFM的三种认证尺寸
机译:使用校准的AFM测量和SEM图像处理对工业纳米级表面进行复制和尺寸质量控制
机译:SEM-AFM微电子学尺寸计量的线性标准,范围为0.01-100μm
机译:用于SEM的光致抗蚀剂测试结构的原子力显微镜(AFM)分析作为内部线宽标准
机译:通过TEM,AFM和SEM观察的纳米颗粒链聚集体的机械性能:分离的聚集体,网络及其在增强填料和气体传感器中的作用。
机译:X射线光刻掩模计量学:透射电子在SEM中用于线宽测量
机译:使用校准的AFM测量和SEM图像处理对工业纳米级表面进行复制和尺寸质量控制
机译:标准参考材料:抗反射 - 铬线宽标准sRm473,用于校准光学显微镜线宽测量系统