电子束曝光机工作台吊装结构的静态特性研究

摘要

正在研究的激光定位吊装结构工作台系统是电子束曝光要贩主要组成部分。本文概述了工作台吊装结构的特点，用有限法元建立了吊装结构的三维实体力学模型，在理论上对其进行了静态特性的分析与计算，并用激光散斑法进行了实验验证，设计了工作装配与调试的工艺支。理论计算和实验分析充分证明工作台吊装结构能够满足电子束曝光机工作台亚微米定位精度的要求，具有独特的优越性。