DY—5型亚微米电子束曝光机电子光学柱的一些问题

摘要

本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束暴光机电子光学柱所做的工作，最后给 一组试验结果。